硅烷工艺系统
内蒙古特种气体价格硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定:
硅烷站的规模;
硅烷的物理化学性质;
当地硅烷供应的充装、运输状况;
用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求。
硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及连接管道。
硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气、安全控制的功能。
硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫。
硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4.2.6条的规定外,还应配置惰性气体吹扫装置、气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器。
硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定:
内蒙古特种气体厂家硅烷系统的排气管不得接入排风系统;
排气管应采用惰性气体连续吹扫,吹扫气体流速不得小于0.3m/s。
硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀,硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮,至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。
硅烷系统阀门、附件的设置应符合下列规定:
硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀、隔膜阀、调压阀;
硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板:
硅烷系统应配置过流开关、紧急切断阀,调压阀的加热装置应根据流量核算确定。
特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定:
尾气处理装置的类型,应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择,不相容特种气体应分别设置尾气处理装置;
尾气处理装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体设备布置;
内蒙古特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附、湿式洗涤、加热分解、燃烧、等离子分解、稀释及以上几种处理方式的组合。
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