乌海高纯特种气体--什么是离子注入气？

2020-11-11 09:59:10

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离子注入是把离子化的杂质, 例如P + 、B + 、As+加速到高能量状态,然后注入到预定的衬底上。离子注入技术在控制Vth(阈值电压) 方面应用得为广泛。注入的杂质量可通过测量离子束电流而求得。离子注入工艺所用气体称离子注入气, 有磷系、硼系和砷系气体。

乌海高纯特种气体厂家非液化气体：

压缩气体依据于一定压力和温度下在气瓶中的物理状态和沸点范围可以区分为两大类, 即液化气体和非液化气体。非液化气体系指除溶解在溶液中的气体之外, 在2111℃和罐装压力下完全是气态的气体。也可定义为在正常地面温度和13789～17237kPa 压力下不液化的气体。

液化气体：

在2111℃和罐装压力下部分液化的气体。或定义为在正常温度和172142～17237kPa压力下在气瓶中液化的气体。压缩气体(Compressed Gases)压缩气体是指在2111℃下, 在气瓶中压力超过27518kPa的任何气体或混合物; 或与2111℃下的压力无关, 于5414℃下压力超过717kPa 的任何气体或混合物; 或于3718℃下气体压力超27518kPa的任何液体。

乌海高纯特种气体稀有气体：

元素周期表后一族的六种惰性气体中的任何一种气体, 即氦、氖、氩、氪、氙、氡。前五种气体均可以空气分离方法从空气中提取。

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