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内蒙古特种气体输送管道系统的施工管理

2021-05-19 19:09:48

内蒙古特种气体超净的气体输送管道系统,是指具有超净化要求的输送高纯气体、掺杂气体的管道系统,广泛应用于集成电路器件生产、太阳能光伏电池生产PDF显示器面板生产等微电子领域,该系统输送的气体主要有高纯大宗气体(高纯氧、高纯氢、高纯氦、高纯氢等气体)、特气(硅烷、磷烷、砷烷、氯化氢、氯气等工艺气体),以上气体在下文中简称“超净气体”。

随着微电子工业的不断发展,特别是超大规模集成电路制造的晶圆尺寸不断增大,线宽尺寸从微米级进人到亚微米(小于1um)级以及深亚微米(小于0.18um)级,这样,对半导体制造工艺中的超净气体的品质要求越来越高,对这些气体中微粒、杂质及露点控制要求极为严格,已达到ppb、ppt级,尘埃粒径要求控制小于0.1um的微粒,因此对超净气体的输送管路系统的洁净度提出了非常高的要求。工艺气体中的杂质对半导体制造的整个过程都有影响。如高温处理中,重金属微粒向硅的内部侵人扩散,诱发结晶缺陷,是导致半导体器件特性裂化的原因。内蒙古特种气体腐蚀工序中,由于微粒附着在硅片处,将导致接触部分和周围的腐蚀加工精度降低。

热处理工序中,碱金属微粒使氧化膜与硅的界面特性产生异常 ,引起耐压性差或电气特性劣化。

由于一旦该气体输送管道发生污染,将很难通过吹扫彻底清除污染物,往往是被迫更换掉被污染的管路,由于该系统造价昂贵,这样造成的损失将很大,因此,超净气体管道系统洁净度的要内蒙古特种气体求甚至比对其纯度的要求在某种程度上显得更为重要,洁净度管理的要点是控制微粒污染,这已经成为超净气体输送管路的一项关键内容。微粒污染源来自两个方面:一是粘附在管壁上的微粒,二是因磨损或腐蚀等原因在管内壁产生的微粒。本篇从气体管路系统配置、管路系统材料选择、配管技术等方面,结合工程实践,提出一些防止管路系统对超净气体的微粒污染措施,供同行关注与参考。

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