包头标准气,气体输送管选用原则。
一切高纯性.高洁净气体都需要通过管道输送至设备用点(POU),在气体出口指标确定的情况下,为达到工艺对气体质量的要求,在气体出口指标一定的情况下,应更加重视配管系统选材与施工质量。除了制气和净化设备的准确度之外,管道系统的许多因素都会影响到管道系统,所以选择管道时,一定要遵从相关的工业原则,并在图纸中注明管道的材质。
管道材料按使用要求选用,如是用于制程中的反应气体,则选用高等级的316LEP管,经过电解抛光处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximumpeaktovalleyheight)小于0.3μm,这个数值远远低于经烧结处理的316LBA管(BrightAnneal)处理的0.8μm。由于较高的平面度较少形成微涡流,而把污染颗粒带出。而316LBA管经常被用在与晶片接触,但是不会参与过程反应的气体,例如GN2。管内表面粗糙度是衡量管道质量的指标。粗糙度越低,携带粒子的可能性就越小。另外一种AP管(Annealing&Picking),它没有经过特别处理,被用来作为两个套筒。
当前国内洁净管道可参照标准较少,一般情况下,除参考《洁净厂房设计规范》、《氢氧站设计规范》、《压缩空气设计规范》等相关技术行业技术规范外,业界常用的选材和配管,一般参照国际通用的工业标准。
在半导体工业中,线宽越小,其对气体纯度.粒度.杂质含量.露点要求也越来越高。
1.高纯氮(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用同材料的波纹管阀或隔膜阀。
2.氮(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)不锈钢(316L)管,阀门采用相同材料的波纹管或球阀。
3.高纯氢(PH2)氢(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管件,阀门采用相同材料的波纹管阀或隔膜阀。包头标准气哪家好?
4.氩(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管件,阀门采用同样材料的波纹管阀或隔膜阀。
5.氦(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用同样材料的波纹管阀或隔膜阀。
6.特别气体系统:需要做两个套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP);阀门使用同一种材料的波纹管阀或隔膜阀。
7.压缩空气(CDA):系统管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管件,阀门采用相同材料的球阀(要求不高的公司也可采用铜管,视工艺要求定)。
对特种气体而言,气体种类多、有毒、有害气体多,原为一机台配一气柜,设备配置高,维修费用大增,投资成本大增,有的还布置在工艺间,存在着隐患。目前普遍采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警器.喷淋.开关.吹扫多已成熟,特气间与工艺间隔离,且对房间有防爆要求,工作保障大大提高。
为了防止腐蚀.有毒.燃烧的气体,通常被设计成把钢瓶放在气瓶柜中,通过管道向附近的阀箱输送气体(VMB,ValveManifoldBox),然后进入制程机台的使用点(POU,PointofUse),在进入机台腔前,将有独立的气控盘(GB,GasBox)与过程控制模块联机,以质流控制器(MFC,对流量控制和进气量进行混合比例控制;正常情况下,这种气控盘不属于工厂管理系统的设计范围,而是属于制程设备的一个组成部分。包头标准气普通惰性气体是由一个开放的气瓶支架(GasRack)和阀盘(VMP,ValveManifoldPanel)供应。
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