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乌海高纯特种气体的安全运行

2022-11-04 10:45:22

空气的分子量为28.8,以空气分子量为分界点,乌海高纯特种气体工业中常见的比空气轻的气体有:H2、He、NH3、CH4等等;比空气重的气体有:AsH3、PH3、SIH4、CF4等等。这两类气体的运行管理方式是不同的,比如气柜内比空气轻的气体的抽风位置和气体采样点在钢瓶上方,而比空气重的气体的抽风位置和气体采样点在钢瓶下方。需注意的是运行管理中的气体一般都在非标准状况下,因此与空气分子量接近的气体随着温度的不同会有例外,如常温或高温N2会比空气轻。而冷的N2会比空气重。计算混合气的分子量,首先确定混合气的气体组成及各组成气体的分子量。比如计算1%PH3/He的分子量,PH3分子量为34,He分子量为4,计算公式如下:34×0.01+4×0.99=4.33.按特气的化学性质分类依据其化学性质,特气可分为惰性气体、可燃性气体、自然性气体、氧化性气体及腐蚀性气体几种。工业上常用的惰性气体有CF4、C4F8、SF6、Ar、CO2、He、Xe、Ne等;可燃性气体有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB;自燃性气体有SiH4、PH3等;氧化性气体有NO、NF3等;腐蚀性气体有HC1、HBr、BCI3、BF3、SiCI4、POCI3、PF3、PF5等。值得注意的是,很多特气都要同时兼具以上两种性质,如SiH2CI2、SiHCI3同时具有可燃性和腐蚀性。乌海高纯特种气体再如CI2、F2同时具有腐蚀性和氧化性。一般半导体、光伏等行业在其主体厂房一层都建有专门的特气房,并根据所用气体的种类和性质划分不同的气体间。如果厂房所用特气为高毒、易燃易爆且存储达到一定值时,则需在离厂房安全距离以外的区域建立气站为产线供气。

气站内根据特气的分类划分不同气体间,如惰性气体间、可燃性气体间、自燃性气体间、腐蚀性气体间。各气体间选择不同的特气供应设备、特气检测设备及防护设施。如惰性气体间需安装氧气侦测器,实时监控房间内氧气浓度,若低于安全限制能及时报警。由于可燃及自燃性气体一旦发生泄漏,则存在爆炸的风险,因此可燃及自燃性气体间在设计上需考虑防爆、消防灭火设施等因素,同时其供应设备内也应配制火焰探测器或者温度探头。特气根据其性质进行分区管理,乌海高纯特种气体公司不但便于特气运行人员日常操作,发生异常情况能及时处理,而且一旦发生事故则可降低事故风险,减小叠加伤害。

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