乌海高纯特种气体输送系统简介

2022-11-09 11:00:17

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由于特气的性质及用量不同，特气系统的输送方式有多种，但绝大部分特气输送系统都由以下5个部分组成。

1.供气设备（BSGS、GC、GR）

①BSGS（大宗特气输送系统）

此系统与大宗特气气源连接，通过全自动控制为工艺设备精高效的输送和供应特种气体。全自动大宗特气输送柜主要有3部分：内部的气盘、输送柜柜壳及柜体上方的可编程控制器。气盘是输送柜内部的主体结构，主要由面板、气动阀、调压阀、压力传感器及真空发生器等构成。其外壳主要由冷轧钢板及安全玻璃构成，具有防爆防漏的功能。柜体上部为可编程控制箱。

其设备原理：将两瓶工艺上需使用的特种气体的Y-钢瓶（以下简称A、B气瓶）放置于气体房中，气瓶与输送柜连接，通过控制箱控制气动阀门的开启及关闭来达到送气的目的。另外将一瓶高纯氮气钢瓶（以下简称C气瓶）置放于输送柜中，用于吹扫盘面。将A气瓶的阀门打开后，点击控制箱的触摸屏通知控制箱气瓶已开，控制箱的电磁阀即会接收到信号输送压缩空气等气动气源来开启气盘的气动阀，气动阀一经开启，气瓶中的特气即会经过调压阀、过滤器等处理后被送至后段设备。

当A气瓶中的气量达到最小设定量时，磅秤或压力传感器会测量并发送信号，通知控制箱关闭电磁阀，乌海高纯特种气体公司电磁阀停止输送气动气源，则气动阀关闭，A气瓶中的气体输送停止。同时控制箱发送信号开启控制B气瓶的气体被输送至后段。如此实现气柜自动切换A/B气瓶并自动供气的核心功能。操作人员可在撤换A或B气瓶的时候开启C气瓶中的吹扫氮气对设备管路进行吹扫，保证管路的纯净度。

②GC（气柜）

GC的工作原理与BSGS相同，但GC的密封性更好，且钢瓶是放在气柜内的。GC有更强的防爆功能。但GC的气体流量没有BSGS大，其使用的阀门管道等配件尺寸都小于BSGS。

③GR（特气架）

GR主要用于惰性气体的输送，乌海高纯特种气体GR内主要部件和GC大体一致，减少了柜体和一些电子传感器件，同时没有自动吹扫功能，钢瓶交换过程主要由人手动操作完成。

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