内蒙古特种气体高纯气体管道配管及附件材料的选择

内蒙古特种气体厂家高纯气体管道中全部高纯、高清洁的汽体均需根据管道传至仪器设备用些(POU)，为了更好地做到仪器设备对汽体的品质规定，在汽体出入口指标值一定的状况下，则更需高度重视穿管系统软件的原材料采用和施工质量。除在于制气或油烟净化器的精密度外，在非常大水平上遭受管道系统软件众多要素的危害，因而，管件的选择应遵守有关领域标准，并标明管路材料。

高纯汽体的管路运输，将高纯气体送往用气点，并维持品质达标的关键是气路控制系统设计有效、管材及配件挑选恰当、工程施工安裝恰当和材料检测达标。高纯气体管路运输管路，要依据加工工艺全过程对汽体纯净度、容许的残渣成分、粒子成分等的规定不一样，选用相对品质的管件。例如半导体产业因其生产工艺流程繁杂、生产加工细致，它不但规定有清洁的工作环境，并且对加工过程中常需的各种各样高纯气体有特殊的、严苛的规定，从μm技术性进到亚微米、深亚微米(低于O．35g．m)技术性，对汽体中的残渣成分、水成分规定极其严苛，10(ppm级)早已不可以做到规定，必须做到10(ppb级)，乃至10一~2(ppt级)，浮尘粒度规定操纵到0．05-0。Olla,m。因而运输管路自身的管路原材料特点融入高纯度、超高纯气体的规定变成务必。

1.管路原材料特点

对运输高纯气体管路来讲，其危害汽体品质的管路原材料关键特点是汽体透水性、排气速度、吸附力、粗糙度和耐磨性能、抗腐蚀。

2.汽体透水性

汽体从工作压力(或分工作压力)高的一侧通过原材料向工作压力(或分工作压力)低的一侧注入的状况变成汽体渗入。由于空气中氧气和N2分工作压力较大 、汽体分子结构相对性较小，管路原材料对汽体的透水性具体表现co2和N2的渗入，一般对co2的网站渗透测试比较多。不一样原材料对氧的透水性原材料空气中co2的渗入(ppm)不锈钢钢管O空调铜管O聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12一般无缝钢管203从表见到，针对运输ppm级及更高纯规定的汽体，从汽体渗入视角务必采用不锈钢钢管或是无缝钢管，如果我们不恰当地采用了不符合规定的管路原材料，那麼，不管大家采用哪些清洁方式，都将是于事无补的。

3.排气速度

内蒙古特种气体价格原材料冶炼厂全过程产生的管路原材料晶间或是晶格常数內部存有着一些残渣，如氮、氮氧化合物等，在高纯气体运输全过程中，这种残渣会迟缓地释放出，环境污染高纯气体，尤其是残渣规定在ppb以上级领导的高纯气体。一般低碳环保不锈钢钢管的排气速度极低。

4.吸附力

因为水份等残渣是极性分子，吸附力很强。硫化橡胶、塑胶或一些表层不光滑的原材料非常容易吸咐水份等残渣，铜料对水吸附力极强，应用这种原材料运输高纯气体易被环境污染，除开运输ppm级下列的co2会应用铜管外，高纯气体也不选用空调铜管和塑料软管，汽体会触碰到的垫圈、填充料也不可选用硫化橡胶、塑胶材料(包含聚四氟乙烯)。

5.粗糙度和耐磨性能

为了更好地保证 运输的汽体纯度，规定管路原材料内表层有一个非常高的光滑度，那样能够避免 环境污染颗粒及体内湿气在壁厚停留，能够在吹扫时较为非常容易吹净。管件较为光滑并且耐磨损，能够在气旋髙速冲洗下，造成的金属粒子就少，不锈钢板比空调铜管造成颗粒要少，因此 不锈钢钢管耐磨性能好于无缝钢管。

6.抗腐蚀

微电子技术生产制造中，常常应用一些腐蚀较强的汽体，这时候务必选用抗腐蚀的管件，不然管路会被浸蚀，轻则表层造成锈迹，重则管路大规模脱落、破孔，不仅环境污染汽体，还会继续产生安全生产事故。

7.内金属表面处理

为了更好地进一步改进管路原材料特点，对管路内表层开展解决，一般有三种方式：磷化处理(AP)，明亮淬火(BA)和化学抛光(EP)解决。实验材料和实践活动都证实，根据金属表面处理后。管路原材料的表面粗糙度减少。排气速度减少。表层吸附力变弱。

8.管路原材料及联接

纯净度在99．99％之内的气体管道，选用10#或20#无缝管(内表层热镀锌或提纯解决)、空调铜管。镀锌钢管道选用螺栓连接。总残渣成分≤10—100ppm的气体管道，选用304不锈钢板明亮淬火管(304BA)、304不锈钢钢管提纯解决(304AP)、铜管。管路选用电焊焊接联接，能够选用对焊、承插焊或防水套管电焊焊接。总残渣成分≤1-1oppm的气体管道，选用316L不锈钢板明亮淬火管(316LBA)、316L不锈钢板电抛光管(304EP)。管路联接选用电焊焊接，内腔无疤痕的对焊，高纯氩气维护焊。总残渣成分≤lppm的高纯气体管路，务必选用316L不锈钢板电抛光管(3l6LEP)。管路联接选用电焊焊接，内腔无疤痕的对焊，高纯氩气维护焊，在专用型的清洁房间内开展。

9.阀门及联接

气体管道广泛选用闸阀、隔膜阀和波纹管阀，依据汽体纯净度、有毒副作用和可燃性可燃性规定挑选相一致的闸阀。纯净度在99．9999％之内的气体管道，选用304不锈钢球阀，能够选用活套法兰，法兰盘垫圈为软金属垫片、聚四氟乙烯垫圈．总残渣成分≤10ppm的气体管道，选用隔膜阀和波纹管阀。可燃性可燃性的汽体务必选用波纹管阀。闸阀选用卡套式接头联接，软金属材料一整片。因为隔膜阀具备波纹管阀同样的密封性特性外，还具备阀内死室内空间小、非常容易吹除整洁、环境污染小等突显特性，总残渣成分≤lppm纯净度规定极其严苛的管路及其危险因素巨大的气体管道，内蒙古特种气体强烈推荐应用隔膜阀。闸阀选用VCR卡套式接头联接，软金属垫片。