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关于内蒙古特种气体管路的设计要点!

2020-12-26 08:43:15

1.针对不一样内蒙古特种气体,要整体规划单独的供货地区,一般分成三个区:腐蚀/毒副作用汽体区、可燃性气体区、稀有气体区,将同样特性的汽体集中化加强管理,可燃性气体区域尤其整体规划防爆墙与泄露口,若内存不足,可考虑到将稀有气体置放与毒副作用/腐蚀汽体区。

2.管道设计方案必须考虑到运输的间距,间距越长,成本费越高,风险性也越高,一般较有效的设计方案水流量为20ml/S,可燃性气体低于10ml/S,毒副作用/腐蚀汽体低于8米l/S,在使用量设计方案层面,则必须考虑到应用点的工作压力和管经尺寸,前面一种与汽体特点相关,后面一种应用点的管经一般为1/4”~3/8”。

3.依据用气机器设备的遍布状况,高纯气体的管道网不适合过大或是太长;宜选用不封闭式的环状管道,在系统软件尾端接连不断排污小量的汽体,便于在管道网中总会有高纯气体商品流通,不容易产生“死室内空间”造成高纯气体的环境污染。

4.管道中应降低不流动性汽体的“死室内空间”,不可设立盲管,内蒙古特种气体厂家在高纯气体的储气罐与天然气机器设备中间需设吹扫操纵设备、多闸阀操纵设备、用于操纵每个闸阀的电源开关次序、系统软件吹除,以保证 气路系统软件的安全性、靠谱运作和避免 “过流保护”产生而停留空气污染物,减少汽体纯净度。

5.对高纯气体纯净度规定不一样的天然气机器设备,宜选用等级划分高纯气体运输系统软件;也可选用同级别运输系统软件,可是在纯净度规定高的天然气机器设备相邻处设尾端汽体纯化设备。

6.为了更好地检验高纯气体的纯净度和残渣成分,运输系统软件除开设定必需的持续测试仪器,如考量水成分或是氧残渣成分等检测仪外,还应设定按时抽样用的检验取样口,便于按照规定時间开展取样,剖析高纯气体中各种各样残渣的成分。

7.在亚微米级的集成电路芯片生产制造中,规定供货10-9级的高纯气体,内蒙古特种气体价格为了更好地保证 尾端用气工艺技术处的汽体纯净度,使汽体中的残渣成分(包含细颗粒物)操纵在要求的标值内,一般在机器设备前设定尾端提纯设备,或尾端高精密气体过滤器


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