电子气体是指用于半导体及其他电子产品生产的气体,与传统的工业气体相比,电子气体特殊,鄂尔多斯特种气体在气体的纯净度要求极高,所以也被称为电子特种气体,广泛应用于集成电路显示面板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、环保医疗等领域。
国内特种气体于20世纪80年代随着国内电子行业的兴起而逐步发展,随着技术的逐步突破,国内气体公司在电光源、气体、激光气体、消毒气体等领域发展迅速,但与国外气体公司相比,大部分国内气体公司的供应产品仍然较为单一。尤其是在集成电路显示面板、光伏能源、光纤光缆等高端领域。
但是随着国内制造业的快速发展以及巨大的终端消费市场和劳动力人口优势,半导体产业链将加快向国内转移。近几年,鄂尔多斯特种气体厂家国内集成电路市场销售额保持20%以上的高增速,未来或将带动集成电路、电子用气等领域快速发展。
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。
由于气体流量小,不经常使用,特种气体气源多采用普通钢瓶(<50L)。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板;配置继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空,有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统,有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房,鄂尔多斯特种气体甚至没有气体房,特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道,或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。
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