鄂尔多斯工业特种气体管道系统的配管及材质要求

2020-12-29 10:39:49

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采用透水性小、排气速度低、吸附力差的原材料。现阶段集成电路工艺集成电路芯片前工艺流程高纯气体运输系统软件管路原材料选用不锈钢板明亮淬火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢板电抛光管（SS316L-EP）等，可是对规定操纵高纯气体中总残渣成分≤1.01.0×10－6及下列的管件运用SS316L-EP管。

注：①管道形式以汽体特点设计方案，稀有气体应用一般的单面管，鄂尔多斯工业特种气体哪家好做为工艺用的反映汽体，则采用高級其他SS316L-EP管；应用与集成ic触碰但不参加工艺反映的汽体则采用SS316L-BA管。

②针对起火发生爆炸，有有毒的高纯气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑到应用双防水套管，它的内/外管材料一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计方案的关键目地有二点，先可维护连接管立即遭受外力作用碰撞，次之能将由连接管漏水的汽体阻绝于外管，并运用有关的检测仪器检验，现阶段常见的设计方案有正压力和负压力二种方法，负压力设计方案是将內外管间抽成真空，正压力设计方案则是灌以N2保持正压力，二者皆可接好气压表或是工作压力报警器检知泄露情况。

一般选用的方式有机械设备喷砂处理、鄂尔多斯工业特种气体价格化学溶液清理、电抛光、电抛光等，现阶段广泛运用的管件有明亮淬火管和电抛光管

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