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乌海高纯特种气体管道配管技术及常见气体种类介绍

2021-06-08 15:41:09

什么叫乌海高纯特种气体管路穿管技术性?说白了的高纯气体穿管技术性,是包含高纯度气路系统软件的恰当设计方案、阀门管件及配件的有效挑选、管路工程施工、安裝实验和检测等;是高纯气体供货系统软件的关键构成部分;是确保高纯气体安全性平稳地传至用气点,且合乎机器设备应用规定的核心技术。

高纯气体管路自动化控制

高纯气体管网工程主要用途

高纯气体管路自动化控制拥有 能确保汽体的纯净度、确保规范气体压力、工作压力平稳和数值传送不产生变化等特性,广泛运用于半导体材料、集成电路芯片、光学、车辆、新能源技术、纳米技术、光纤线、微电子技术、石油化工设备、生物技术、各种各样试验室、科学研究研究室、规范检测等新科技领域。

普遍汽体类型:

在电子工业中一般汽体,也称大宗商品汽体(Bulkgas):氡气(H2)、N2(N2)、co2(O2)、N2(A2)等;除一般汽体外,电子工业还会继续采用很多的乌海高纯特种气体(Specialtygas),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O这些。这种独特汽体依据汽体特性,类型一般可分成腐蚀、毒副作用、易燃性性、燃烧性、可塑性等。

常见半导体材料汽体归类以下:

(一)腐蚀/毒副作用:HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等

(二)易燃性:CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

(三)燃烧性:O2、C12、N2O、W3等

(四)可塑性:CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半导体业中应用的电子器件高纯气体,许多全是对身体有危害的。例如,半导体材料制造加工工艺普遍的高纯气体:氯硅烷(SiH4)就具备起火特点,一旦产生泄露,他们便会与空气中的co2强烈反映并逐渐点燃。再例如磷烷(PH3)和珅烷(AsH3)也具备有毒性,一切轻度的泄露都很有可能对大家的性命导致损害。恰好是因为这种显著的风险,因此 针对高纯气体供货控制系统设计的安全系数规定尤其高。

高纯气体管路

之上,就是有关乌海高纯特种气体穿管技术性及电子工业中普遍的汽体类型的简易详细介绍,感谢你们的阅读文章!

乌海高纯特种气体

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