气体分配设备(VMB、VMP)
当多台工艺设备均使用某一种特种气体时,内蒙古特种气体行业内使用VMB(阀门分配箱)或者VMP(阀门分配盘)将集中供气气源通过多条支路上的阀门等装置分流到各个工艺设备供其使用特气。
VMB与VMP的工作原理相同,只是VMB多一个外壳,增加其密封性,且装有排风设施保持柜体内负压。VMP一般输送惰性气体,VMB则输送有毒有害、易燃易爆的气体。
3.尾气处理设备
特气供气设备在进行钢瓶交换时都要进行管道吹扫操作,如所供特气为有毒、腐蚀性及易燃易爆的气体时,则吹扫排出的气体不能直接排放,需要经过尾气处置处理符合环保标准后才能排放。有毒、腐蚀性及易燃易爆的气体在经过工艺设备使用后也需要做相应地处理,才能安全排放。
4.特气监控及侦测系统(GMS、GDS)
GMS是对气体设备运行状态的实时监控和记录,例如输送压力如何,内蒙古特种气体设备有无异常、警报等。同时GMS具有多种历史查询功能,可反馈记录时间内任一时段的压力曲线、报警记录等。
GDS主要由气体探测器、报警控制器和装有专门软件的计算机组成。报警控制器通过PLC联动控制特气设备气动阀的电磁阀,并发出声光报警。某些GDS的报警控制器还联动相应的风机,一旦特气泄漏除了自动关闭特气设备供应阀门外,还能启动该房间的强制排风。特其中的惰性气体无需对应的气体侦测器进行监控,只检测所在环境中的氧气浓度。而对于工艺设备而言,当使用多种有毒、易燃易爆或腐蚀性的特气时,需配备多种对应的气体侦测器。
GMS和GDS系统一般设置一级报警和二级报警两个级别,对应黄色和红色声光警报。GMS系统中的警报的设定值一般是根据工艺要求的特气输送压力来设定的,内蒙古特种气体厂家而GDS的警报值是根据该特气的TLV值来设定的。一般GDS系统一级警报的设定值为该特气的TLV值的一半,二级警报的设定值为该特气的TLV值。